项目建设一线纪行⑬｜这里将年产5000吨“芯片血液”

这里将年产5000吨“芯片血液”

——项目建设一线纪行⑬

眼下，在位于沧州临港经济技术开发区的沧州华宇特种气体科技有限公司，年产5000吨电子特气项目设备安装进入扫尾阶段。该项目是河北省重点建设项目，主要生产电子级硅烷气，可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、动力电池等行业。项目的投产，将进一步加速我国电子级硅烷气的国产化替代进程。

电子特种气体是国家大力支持发展的新材料，被称为“芯片血液”，应用在集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积等环节，对集成电路的性能、集成度和成品率有较大影响，是晶圆生产中的关键材料。电子级硅烷气就是一种高纯度的电子特种气体。

4月3日，记者在项目建设现场看到，高达80多米的精馏塔已安装完毕。数个安装好的巨大罐体连通密密麻麻的管道，和精馏塔以及车间共同构成项目装置主体。

“现在，全公司上下都铆足干劲，每天加班加点，全力确保项目如期竣工投产。”沧州华宇特种气体科技有限公司总经理徐立勇说。

近年来，通过市场观察，华宇公司敏锐地发现，快速发展的集成电路制造业和新能源产业，对电子级硅烷气的需求极大增长。然而，我国电子级硅烷气生产却面临“卡脖子”问题。“我国电子级硅烷气产品产能小，进口依赖度高，关键核心技术面临国外封锁，生产装置国产化水平低。”徐立勇说。

瞄准“卡脖子”的难题发力，挺进新赛道，2023年1月，沧州华宇特种气体科技有限公司开工建设了年产5000吨电子特种气体项目。该项目总投资10.8亿元，建设的硅烷气生产装置国产化率达80%，将成为全国单套产能最大的硅烷气生产装置。项目投产后，每年可生产5000吨电子级硅烷气，可实现产值20亿元、税收3.2亿元。

该项目最大的亮点，是采用了企业自主研发、国际领先的反应精馏歧化技术。

“反应精馏歧化技术主要特点是适合大规模生产，产出的电子级硅烷气纯度高，整个系统闭路循环，生产过程安全又环保。”徐立勇说，该技术以三氯氢硅为原料，在精馏塔内，将三氯氢硅反应为硅烷气和四氯化硅，同时通过精馏塔将未反应的三氯氢硅、反应产物及时分离，保证了反应的连续进行，形成了完整的物料循环，大大降低了生产成本。

在研发反应精馏歧化技术过程中，为提高精馏效率，达到品质最优，实现节能降耗，企业选择了与中国科学院过程工程研究所合作。双方研发团队针对装置反应精馏过程中的耦合方式，进行了十余次实验。最终，选择了精馏塔自耦合和多塔连续耦合这两种方式。

“你看最粗的那座塔，实现了三塔合一，气提塔、反应塔和精馏塔耦合到一起，这是我们这套硅烷气生产装置的最大特色。”在项目现场，指着远处的高塔，徐立勇说，三个塔耦合为一个塔，让电子级硅烷气生产中蒸汽消耗大为降低，生产成本比行业平均水平低20%到30%，产品竞争力大大提高。

“作为国家循环化改造示范试点园区，我们坚持以集群化思路发展战略性新兴产业，积极推动行业横向链接、产业纵向延伸，大力推进年产5000吨电子特种气体项目等一批大项目、好项目加快建设。”沧州临港经济技术开发区管委会副主任李森表示，项目投产在即，他们将继续做好项目服务，全力保障水、电、气等各项生产要素供应，为项目在新赛道中“加速跑”保驾护航。（河北日报记者 戴绍志）